16nm 26nma 36nma2 46nm 56nma
qxoma rxoma2 sxom txoma uxoma2
fopma2 gopm hopma iopma2 jopm
4eqm 5eqma 6eqma2 7eqm 8eqma
t5qma u5qma2 v5qm w5qma x5qma2